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UN N0：1835 CN NO：82019
性状－－－无色的有机碱性水溶液，有特殊臭味，有腐蚀性。
用途－－－IC、LCD制造用正性光刻胶的显影剂。可防止和减少钠离子的污染，改善应用性能，具有显影干净、亲和力性能好等优点，有利于提高分辩力。
贮存、运输－－－腐蚀液体。密闭包装，不可与空气接触，并贮存于阴凉通风干燥处。
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类别
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规范
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含量(TMAH),%
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2.38±0.01
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杂质最高含量,ppb
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钠(Na)
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10
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钾(K)
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10
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镁(Mg)
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10
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钙(Ca)
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10
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铁(Fe)
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10
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镍(Ni)
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10
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铜(Cu)
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10
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铅(Pb)
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10
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锰(Mn)
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10
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锌(Zn)
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10
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铬(Cr)
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10
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银(Ag)
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10
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